王家敏（上海交通大学材料科学与工程学院高级工程师）

王家敏

上海交通大学材料科学与工程学院高级工程师

王家敏，男，上海交通大学材料科学与工程学院高级工程师。

长期研究薄膜材料和失效分析。

从事溅射靶材与薄膜两者性能关系的研究，薄膜的成膜工艺，组织结构和性能分析表征，新薄膜材料的研发，材料的失效分析。

人物经历

1987年9月上海交通大学。

1988年9月上海交通大学材料科学与工程系。

1996年5月德国Fraunhofer Nondestructive Institute。

1997年11月上海交通大学材料科学与工程学院。

至今在上海交通大学材料科学与工程学院高级工程师。

主要成就

科研成就

Target material with large scale and high Si contents for electronics , Journal of Materials Science Letter，Ceramic Automotive Valves-Chances and Limitations of Nondestructive Testing, The International Conference on Nondestructive Testing，Observation of magnetic structures under external field by the photothermally modulated stray field technique, Proc. 10th IPPP, Pome, Italy，半导体集成电路制造技术（第七章，第八章），高等教育出版社，CuNiSi溅射薄膜热性能与溅射靶材中稀土元素加入量之间关系的研究，功能材料

荣誉表彰

曾获上海市科技进步奖三等奖，上海是发明专利二等奖。

社会任职

现任职于上海交通大学材料科学与工程学院高级工程师。

参考资料

1. 王家敏·上海交通大学材料科学与工程学院