荷兰ASML公司(半导体设备制造商)

2023-08-16 108阅读

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荷兰ASML公司

半导体设备制造商

荷兰ASML公司(全称:Advanced Semiconductor Material Lithography,目前该全称已经不作为公司标识使用,公司的注册标识为ASML Holding N.V),中文名称为阿斯麦尔(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。

这是一家总部设在荷兰埃因霍芬(Eindhoven)的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。

外文名 Advanced Semiconductor Material Lithography
总部地点 荷兰南部埃因霍芬市(Eindhoven)
中文名 阿斯麦尔
注册标识 ASML Holding N.V
中国总部地址 上海市张江镇金科路2889号长泰广场A座9楼

公司简介

总部位于荷兰埃因霍芬(Eindhoven),欧洲人均科研经费排名第二的高科技公司。2010年,其全球净销售收入超过45亿欧元。2011年,卖出222套机器,全球净销售收入56.51亿欧元,净利润14.67亿欧元。

ASML在欧洲、亚洲及美国的50多个地区拥有9245名员工,其中固定员工7184(欧洲4202,亚洲1538,美国1444),男女比例为9:1。截止2011年,全球市场占有率75%。

产品服务

ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,比如英特尔(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、台积电(TSMC)、中芯国际(SMIC)等。

ASML的产品线分为PAS系列、AT系列、XT系列和NXT系列,其中PAS系列现已停产;AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。

目前已经商用的最先进机型是Twinscan NXT1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。

ASML正在加紧研制基于极紫外(EUV)光源的新型光刻机,型号定为NXE系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10nm以下,并且可以显著提高集成电路质量。

零部件研发

2020年,据阿斯麦高管介绍,阿斯麦产品85%的零部件是和供应链共同研发。开放的生态系统能让企业在全世界找到最好的供应商,包括光学器件、机械装置等。

技术前景

除了目前致力于开发的TWINSCAN平台外,ASML还在积极与IMEC,IBM等半导体公司合作,开发下一代光刻技术,比如EUV(极紫外线光刻),用于关键尺度在22纳米甚至更低的集成电路制造。目前ASML已经向客户递交若干台EUV机型,用于研发和实验。同时,基于传统TWINSCAN平台的双重曝光等新兴技术,也在进一步成熟和研发过程当中。2007年末三星(Samsung)宣布成功生产的36纳米闪存,基于的便是双重曝光技术。

市场份额

目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:ASML、尼康(Nikon)和佳能(Canon)。根据2007年的统计数据,在中高端光刻机市场,ASML占据大约60%的市场份额。而最高端市场(例如沉浸式光刻机),ASML大约目前占据80%的市场份额。不过,竞争对手尼康也在奋力追赶,主要优势在于相对较低的价格。

对华合作

ASML一直致力于中国市场的拓展与合作,包括香港在内目前已经在北京、上海、深圳、无锡等地开设分公司,为客户提供及时的服务和咨询。随着公司业务的扩大和中国半导体产业的发展,相信大连、成都、重庆、武汉等新兴的半导体基地也会纳入ASML的版图之内。ASML有信心和中国半导体从业者一道为技术创新和市场拓展开辟道路。目前ASML已经与浙江大学、大连理工大学、哈尔滨工业大学、上海交通大学等著名高等学府签定奖学金及科研合作协议,为培养本地人才,做出自己的一份贡献。

2020年10月,阿斯麦光刻机在中国大陆地区大大小小装机有700台,2020年第二、第三季度,公司发往中国大陆地区的光刻机数量超过了全球总量的20%。

2020年,在第三届进博会上,光刻机巨头ASML也参展了,并且还在自己的展台上晒出展示了光刻机。

所获荣誉

2019年10月,位列2019福布斯全球数字经济100强榜第50名。

2020年5月13日,阿斯麦控股名列2020福布斯全球企业2000强榜第361位。

相关事件

收购睿初科技

ASML于2007年正式完成对美国睿初(Brion)科技的收购,使之成为旗下重要一员。睿初科技是建立在美国硅谷的高科技公司,致力于计算光刻等方面的服务,用于检测光刻缺陷及提出相应修正解决方案,在同行业中处于领跑位置。睿初科技总部位于美国加州Santa Clara。

收购Cymer

ASML于2012年10月宣布收购美国Cymer公司,以加快EUV的研发进度。Cymer公司是世界领先的准分子激光源提供商,发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源。产品主要特性是:带宽窄,运行速度高,可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。

参考资料

1.Fact Sheet ·ASML 官网

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