机油压力传感器（汽车零配件）
中文名机油压力传感器外文名MicroElectromechanicalSystem简称MEMS别称微电子机械系统特点MEMS压力传感器可以用类似集成电路的设计技术和制造工艺，从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成...
平安百科
微机电系统（独立的智能系统）
微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。中文名微机电系统外文...
MEMS（先进的制造技术平台）
MEMS先进的制造技术平台MEMS是微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystems）的英文缩写。所以它是以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术平台。技术条件微机电系统MEMS(...