中文名MOCVD定义气相外延生长(VPE)的基础上发展全称金属有机化合物化学气相沉淀性质易燃、易爆、毒性很大系统简介定义MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。以热分解反应方式...